核心特性
· 传感技术：基于专有MEMS流量传感芯片，融合时域流量传感与智能电子技术，可消除扩散率相似气体的敏感性，支持编程后气体识别 。
· 控制性能：具备100:1的宽动态范围控制比，确保在低流量下的高精度稳定性 。
· 工作环境：标准控制压力范围为0.1~1 MPa（部分资料提及可达1.8 MPa），补偿温度范围0~50℃ 。
· 信号接口：支持0-5 VDC或4-20 mA模拟信号控制，以及RS485 Modbus数字信号控制 。
规格与应用
· 流量范围：典型覆盖50 mLn/min 至 200 Ln/min（具体量程依子型号而定，需查阅详细选型手册）。
· 机械接口：标准连接器为NPT 1/8"至1/2"，同时提供双卡套、VCR、UNF等多种定制接口选项 。
· 适用气体：适用于各类清洁、干燥的非腐蚀性气体（如氮气、空气、氧气、氩气等）。
· 主要场景：广泛应用于半导体制造、激光设备、焊接机器、气体混合控制及医疗仪器等过程控制*域 。
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